ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)-抗腐蝕型 20S系列
型 號
所屬分類超聲波流量計(jì)
報(bào)價(jià)
更新時(shí)間2024-11-19
產(chǎn)品概述
| 品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,綜合 |
美國ALICAT 20S系列抗腐蝕型質(zhì)量流量計(jì)，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。
可精確、快速測量腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、SiH4等）的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測控場合。
應(yīng)用及案例
● 大學(xué)/研究所
● 泄漏檢測
● 環(huán)境監(jiān)測
● 真空行業(yè)及鍍膜
● 工業(yè)爐窯
● 半 導(dǎo) 體
● 汽車制造
● 計(jì)量校準(zhǔn)
● 過程工藝氣體測量
ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)-抗腐蝕型 20S系列產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 可選高精度：優(yōu)于0.5%
● 量程可測比1%-100%
● 響應(yīng)時(shí)間快，僅需10 ms
● 內(nèi)置130種常規(guī)以及腐蝕性氣體
● 可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
● 可適用于諸多腐蝕性氣體
ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)-抗腐蝕型 20S系列技術(shù)指標(biāo)
介質(zhì)要求 潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可
介質(zhì)種類 內(nèi)置了130種氣體，請參考背面
一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量 程 從0-0.5 SCCM 到 0-5000 SLPM
最大顯示流量 128 %滿量程
顯 示 屏 帶按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）
高 精 度 ±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程），選配
僅適用于量程為5 SCCM - 500 SLPM的設(shè)備
累計(jì)流量精度 流量精度之外增加±0.5%額外誤差
重 復(fù) 性 ± 0.2 %滿量程
質(zhì)量流量零點(diǎn)和滿量程溫度漂移 0.02%滿量程/℃（從25℃開始）
質(zhì)量流量零點(diǎn)和滿量程壓力漂移 ±（0.08% 讀數(shù)+ 0.02% 滿量程）
（從校準(zhǔn)壓力開始）
響應(yīng)時(shí)間 10 ms
預(yù)熱時(shí)間 ＜1 s
默認(rèn)標(biāo)況（STP） 25 ℃ & 1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項(xiàng)）
溫度精度 ±0.75℃
工作濕度 0 ～100 %，無冷凝
最大工作壓力 1 MPa 表壓
操作壓力 如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80 KPaA以上使用；
其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定
壓力精度 ±0.5%滿量程
極限耐壓 1.1MPa 表壓，進(jìn)出口最大瞬時(shí)壓差可為0.5 MPa
滿量程壓損 參考詳細(xì)壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號40 Hz@ 19200波特率；
模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數(shù)字輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、
Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
模擬輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 量程誤差
供電電壓 9 - 24VDC （如選4 - 20 mA輸出，須為12 - 24 VDC ）
供電電流 40 mA （+ 40 mA輸出電流在 4-20 mA 或0-10VDC）
電氣接口 DB9M，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì) 316L不銹鋼、FFKM（標(biāo)準(zhǔn))
可根據(jù)特殊氣體選用FKM、EPDM、Buna
過程連接 詳情參考壓損表
安裝方式 對位置無要求
防護(hù)等級 IP40
認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA（可選）
尺寸詳圖
尺寸壓損
滿量程質(zhì)量流量計(jì) | 滿量程壓損1（psid） 排氣到大氣中 | 機(jī)械尺寸 | 管道連接接口2 |
0.5 sccm - 1 sccm | 1.0 | 4.4''H ×2.4''W ×1.1''D | M-5 （10-32）（內(nèi)螺紋） （Buna-N表面密封至1/8''NPT內(nèi)） |
2 sccm - 50 sccm | 1.0 | ||
100 sccm - 20 slpm | 1.0 | 4.6''H ×2.4''W ×1.1''D | 1/8''NPT內(nèi)螺紋 |
50 slpm | 2.0 | 5.1''H ×4.0''W ×1.6''D | 1/4''NPT內(nèi)螺紋 |
100 slpm | 2.5 | ||
250 slpm | 2.1 | 5.7''H ×4.0''W ×1.6''D | 1/2''NPT內(nèi)螺紋 |
500 slpm | 4.0 | 5.7''H ×4.0''W ×1.6''D | 3/4''NPT內(nèi)螺紋 （2000 SLPM 可選配1-1/4''NPT內(nèi)螺紋） |
1000 slpm | 6.0 | ||
1500 slpm | 9.0 | 6.0''H ×5.2''W ×2.9''D | |
2000 slpm | 5.0 | ||
3000 slpm | 7.1 | 6.0''H ×5.2''W ×2.9''D | 1-1/4''NPT內(nèi)螺紋 |
5000 slpm | 3.4 | 7.0''H ×5.2''W ×3.9''D | 2''NPT內(nèi)螺紋 |
1、見公制圖紙； 2、 與Beswick®，Swagelok®管，Parker®，表面密封，快接接頭和卡套轉(zhuǎn)接頭相兼容，也可以按照用戶需求與VCR，SAE接頭相兼容。 | |||
- 上一個(gè)： ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)-低壓損型 20W系列
- 下一個(gè)： ALICAT 高壓氣體質(zhì)量流量計(jì) 20Q系列